.
(2) cài đặt chân định vị ở phía đối diện của phôi gia công hoặc phía đối diện của khay trên;
(3) trực tiếp đặt phôi hoặc khay trên trong đơn vị định vị bằng không thông qua chân định vị;
(4) Sau khi cắt nguồn không khí, bộ định vị sẽ khóa chân định vị, đến trạng thái khóa và bắt đầu xử lý.